[VIP第1年] 指数:3
洁净室的负荷特点和节能 一般情况下，净化空调系统的能耗比一般空调系统的能耗大的多。其原因是两者之间的负荷特点不同。就洁净室，尤其是半导体工业洁净室而言，其负荷特点是：由于排风量大造成新风量大，故新风处理所需冷量消耗大；送风量大，输送动力消耗大，风机管道温升高；生产设备的发热量大，洁净室设计，洁净室设计，消耗冷量大，洁净室设计。这三项负荷之和一般占总负荷的70%~95%。因此，净化空调系统节能措施应从减少新风量（减少排风量）；控制送风量（合理确定换气次数）；充分利用回风量；选择低阻力***率的空调和净化设备和可变风量的风机等入手。
按气流的流动状态分 （1） 非单向流洁净室：以前常称为乱流型洁净室，室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点：终端过滤器（***或亚***）尽量接近洁净室，它可以就是送风口或直接连送风口，也可以接到房间的送风静压箱上；回风口均设在洁净室的下部，目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在，不适宜用于高洁净度的洁净室中，宜用于6~9级的洁净室中。 （2） 单向流洁净室：单向流洁净室气流的特征是流线平行，以单一方向流动，并且在断截面上风速一致，有垂直单向洁净室，准垂直单向流，水平单向流洁净室等。 （3） 矢量洁净室：在房间的侧上角送风，采用扇形***过滤器，也可以用普通***过滤器配扇形送风口，在另一侧的下部设回风口，房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室也可以达到5级（100级）洁净度。
洁净室空气流量原理 洁净室通过使用采用层流或湍流气流原理的HEPA或ULPA过滤器来维持无颗粒空气。层流或单向气流系统以恒定流量向下引导过滤空气。层流气流系统通常在100％的天花板上使用，以保持恒定的单向流动。层流标准通常在便携式工作站（LF罩）中说明，并且在ISO-1至ISO-4分类洁净室中是***性的。 适当的洁净室设计包括整个空气分配系统，包括足够的下游空气回收。在垂直流动室中，这意味着在区域的周边使用低壁空气返回。在水平流动应用中，它需要在过程的下游边界使用空气返回。使用天花板安装的空气返回与适当的洁净室系统设计相矛盾。
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