[VIP第1年] 指数:3
洁净室气流组织考虑原则 （1） 当产品要求洁净度为100级时，选用层流流型；当产品要求洁净度为1000~100000级时，选用乱流流型。 （2） 减少涡流，避免把工作区以外的污染物带入工作区。 （3） 为了防止灰尘的二次飞扬，1000级洁净室工程，气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。 （4） 工作区的气流应均匀，流速必须满足工艺和卫生的要求；洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来，使污染物在扩散之前便流向回风口。 （5） 工作设备布置时要留有一定的间隔，为送，1000级洁净室工程、回风口的布置和气流的通畅创造条件：气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。 （6） 洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时，1000级洁净室工程，宜将其置于工作区气流的上风侧，以提高室内的空气洁净度。 （7） 洁净室内有通风柜时，宜置于工作区气流的下风侧，以减少对室内的污染。
洁净室空气流量原理 洁净室通过使用采用层流或湍流气流原理的HEPA或ULPA过滤器来维持无颗粒空气。层流或单向气流系统以恒定流量向下引导过滤空气。层流气流系统通常在100％的天花板上使用，以保持恒定的单向流动。层流标准通常在便携式工作站（LF罩）中说明，并且在ISO-1至ISO-4分类洁净室中是***性的。 适当的洁净室设计包括整个空气分配系统，包括足够的下游空气回收。在垂直流动室中，这意味着在区域的周边使用低壁空气返回。在水平流动应用中，它需要在过程的下游边界使用空气返回。使用天花板安装的空气返回与适当的洁净室系统设计相矛盾。
洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。 洁净室的发展与现代工业、前列技术密切联系在一起。由于精密机械工业（如陀螺仪、微型轴承等加工）、半导体工业（如大规模集成电路生产）等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率*10%~15%，64为储存器*2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
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