江苏厂房气体管道设计连接图 上海市弘技流体控制系统供应

外购气体钢瓶供气，外购气体钢瓶集中存放在工厂的气瓶间(库)中，气瓶中高压气体经气体总线，减压阀组汇集，减压至一定压力经气体纯化装置纯化后供气。为确保连续供气，气体钢瓶一般分为两组，交替放气，根据产品工艺要求，选择满足供气品质的气体纯化装置或在用气点处设置末端气体纯化装置。1－钢瓶及总线2－减压阀组；3－调压装置；4－气体纯化装置； 5－末 气 体 纯 化 器；6－气 体 过 滤 器；7－用 气 点，其他：实验室气体管路系统规范，实验室集中供气工程要求。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。江苏厂房气体管道设计连接图

实验室气体采用集中供气方式，由实验室外专门使用供气区域用管路引进。除了洁净空气由空气压缩系统直接产生外，其余气体都是采用高压气瓶供气。每种气体都要有主供和备供气瓶，并安装自动切换面板进行供气控制，保证不间断供气。另外主要的控制阀门和减压阀门都应安装在实验室外。实验室气体由不锈钢管（BA级）路输送，一般1.5米内并必须有支架固定在墙面。在实验室内所有管路安装在天花板下方，沿墙进行明设。所有管路标明连接的气体。气体管路每隔1.5米的距离，都要有明确标示，同时指示气体的流向。江苏厂房气体管道设计连接图填料应采用经除油处理的石墨石棉或聚四氟乙烯。

制定设计方案。在了解实验室需求的基础上，设计师将制定一个科学合理的设计方案。首先，需要确定气体管道的走向和布局，包括管道的长度、直径、连接方式等。其次，需要考虑管道的材质选择，如不锈钢、铜等。还要结合气体的特性，考虑是否需要在管道中设置过滤器、减压阀等附件，以确保气体的纯净度和合适的压力。进行施工。设计方案确定后，需要进行施工工作。首先，要进行管道的布局和标注，确定每段管道的具体的位置和连接方式。然后，根据设计方案进行管道的焊接、连接等施工工作。在施工中需要严格按照相关的安全操作规程进行，确保施工过程的安全和质量。

高纯/特种气体的概念，半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类：1.普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。气力输送设计的计算方法：1、确定各工作参数。气力输送的主要工作参数包括输送量、混合比(输送浓度)和气流速度等，这些参数的正确确定，对气力输送系统的选择和运行的经济性有很大的影响。2、确定各主要部件的型式和结构尺寸，如选用吸送式气力输送型式，则要注意吸嘴的选型，绘制出系统示意图。3、计算出系统各部分的压力损失及管道总压力损失。4、根据风网总风量和总压力损失选择合适的风机，并计算风机所需功率配用电机。输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统。

医用气体常用参数：常用气体管径的选用，氧气管径的计算式：式中：d=0.0188d—— 管道内径（m），v—— 气体流速（m/s），Q—— 气体在工作状态下的实际体积流量（m3/h ），Q=Q2—— 自由状态下的体积流量（m3/h ），t —— 气体工作状态时温度，p —— 气体工作状态时的尽对压力（MPa），氧气管道中流速较大不应超过下表中数值：氧气工作压力 （MPa） 0~0.1 0.1~0.3 0.3~0.6 0.6~1.6 1.6~3.5 >10，氧气较大流速 （m/s） 20以下 15 12 10 8 4，真空管道管径：，由于负压管道不易方便精确计算，可参考下表经验数据选取：，吸引管道管径估算表，管径 （mm） 15 20 25 32 40 50，吸引嘴数 （个） 12 21 24 62 84 140。氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m。杭州特殊气体管道设计市场价格

高纯度气体由管道输送，能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、试验检测合格。江苏厂房气体管道设计连接图

对于低蒸汽压气体(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。江苏厂房气体管道设计连接图

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