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特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。特气管道安装对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。江苏化验室特气管道安装市场价格
特气管道安装：（1）在管线两侧各设置1个及以上控制阀以控制气流方向，（一般采用球阀控制）。当管线较长时宜分段设阀以避免因阀门损坏造成停供事故的发生。（一般用球阀控制）。当管线较短且无分段时可在主管道端部设一个阀门以方便操作人员维修维护工作，（一般可采用蝶阀或闸阀等开关式阀门）。（2）对需要经常拆卸清洗的部件应在现场设置专门使用工具箱存放拆下的部件以备更换使用。（一般为专门使用工具车存放拆下的部件以备更换时使用。）同时需配备必要的防护用品以免发生意外事故伤害到工作人员及财产损失。（一般为专门使用工具车放置拆卸后的部件以备更换时使用。上海专业特气管道安装市场价格管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。
弯管加工，常规双层管弯头需定做，定做成品成本高，而且质量不易得到保证。施工中，可通过设计使用弯管装置，现场制作弯头，解决此加工问题。在双层管道弯管时，于内外管间套不锈钢弹簧圈，作为内外管传力物，确保弯管过程中内外管的真圆度，使弯管质量达到要求。直管段外层管亦采用弹簧圈支垫，确保双层管夹层空间距离，起到双层管保护作用。弯管时不可取开管道两端的封头，弯头成型后角度偏差不大于5°。自动焊接施工 半成品和成品的保护措施应及时有效，加工完成或焊接完成后及时将管子两端密封。焊接管子对口必须为正方并紧密连接，在对口位置所允许的圆角和倒为壁厚的十分之一，连接口需在钨极的中心位置。焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。焊工施焊时，要求氩弧焊机焊接时电流稳定，焊接速度应保持均匀一致。焊接完成后，钢丝刷刷去焊接区外表面的氧化膜。
大宗特气供应系统（BSGS）采用全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。特种气体采用单独气源，多用点采用VMB或VMP分路供应，VMB或VMP采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空等。由于BSGS气源总量大，多采用单独的气体房，单独的抽风系统。这些工厂的特种气体的供给，除了普通钢瓶（50L及以下）包装的特种气体外，还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器，由此它们被称为大宗特气，包括Y-钢瓶（450L），T-钢瓶（980L），集装格（940L），ISO罐（22,500L），鱼雷车（13,400L）等。特气管道工程是一项危险系数比较高的工程，在选择的过程中一定要注意安装标准规范操作。
特种气体管道配管应符合下列规定：1 按照管道系统单线图，应将规定尺寸的管段及预制好的管道有序放在管架上，用专门使用夹具定位后进行预连接，并应通入适量的高纯氩气进行保护；2 支架宜采用碳钢喷塑、不锈钢、热镀锌C型钢或铝合金的槽式桥架组合；3 支架应采用机械切割，不得气割，切割后的端头应倒角并涂环氧漆后加盖塑料封头；4 当采用有盖槽式不锈钢桥架或铝制桥架时，应采用树脂薄板将桥架与钢制综合支架隔离；5 管外径小于或等于1/2“管道宜采用a型不锈钢管卡或镀镍电工管卡；大于或等于3/4”管道宜采用U型不锈钢管卡或带塑料管束的镀锌P型卡。直管段外层管亦采用弹簧圈支垫，确保双层管夹层空间距离，起到双层管保护作用。江苏氨气特气管道安装施工规范
特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机。江苏化验室特气管道安装市场价格
管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查，并应符合下列规定：1 管道、管件、阀门应有单独的内包装，端口均应装有防尘帽；2 管道、管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽；3 管道外观检查应按全数的5%以上抽查，规格尺寸、壁厚，圆度、端面平整度等应符合产品的技术要求；4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5%以上，且不得少于1件，其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求；5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查，每批每种规格应随机抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查；6 管道内壁平均表面粗糙度Ra及较大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。江苏化验室特气管道安装市场价格
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