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特气管道安装：（1）根据图纸所示位置放线定位并弹线开孔（注意预留检修口）；将管子吊装至预定的安装位置后固定牢靠，并用垫板垫好管件防止滑动伤人。（一般采用膨胀螺栓固定）然后连接支吊架使管子与支吊架牢固连接起来；（一般采用焊接固定）。（2）用水平尺测量管子轴线与地面垂直度误差≤0.5mm/m2，如有偏差及时调整直至合格为止；（一般用钢卷尺检测）如遇特殊环境可用经纬仪或全站仪等测量仪器检测。（一般用全站仪检测）。同时应做好记录以便返工处理。（一般采用经纬仪检测。）特气管道工程施工注意事项：不使用的材料不合格，工艺落后，施工和验收不按规定标准。上海特气管道安装规范
系统检测，特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样较大程度上提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪；颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米；而对要求更高的采用核凝结技术（CNC）它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。特气管道安装一般采用充氩气加热处理而成，EP管采用电解研磨方式加工而成。其内、外表面极其光亮。洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。江苏厂房特气管道安装连接图夏季施工预留：5-10mm;冬季施工预留：15-20mm 。
双层管特种气体管道施工除应符合本标准第 10.6.1条~第 10.6.3条的规定外，还应符合下列规定：1当双层管焊接施工时，应先实施内管的焊接，并在焊接接头处应安装滑套；2 当双层管焊接外管及滑套时，内管和外管都应充高纯氩气保护，宜采用自动轨道氩弧焊机焊接；3 内管焊接完成后应先做压力试验和氦检漏，确认内管无泄漏后，方可焊接外管上的滑套；4 双层管的内管和外管之间应安装弹簧进行隔离，内管和外管不得直接接触；5双套管施工宜采用分段隔绝的方式施工，从气瓶柜到阀门箱的外层套管不得全部相通。
特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm。
硅烷特气柜设计要求：1、因为硅烷（SiH4）的危险性，所以整套系统应该配备惰性吹扫装置，而且应该设置单独的惰性气体钢瓶（比如高压N2）进行吹扫，不得采用管道氮气吹扫。2、硅烷（SiH4）与空气会自燃，柜内应配备气体泄露侦测器、火焰探测器等，当发生泄漏时，能及时报警处理，避免更大事故的发生。3、硅烷系统的排气管不得接入排风系统，硅烷和硅烷混合物排气系统应该单独于其它气体排气系统。4、如果排气的硅烷（SiH4）浓度较高时，应采用燃烧式尾气处理装置处理后排入大气。5、由于存在通过系统的固定惯性气流，要设有防止回流装置。6、排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m/s。整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。江苏厂房特气管道安装连接图
管道切割、预制均在洁净环境进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。上海特气管道安装规范
特种气体管道的施工 ，特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。*后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工组织编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收。预制间的选择，特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。上海特气管道安装规范
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