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管道系统的设计：材料的选择，特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。2.主管路系统的设计，在确定好气体房和用气点以后,主管路系统一般遵循管道线路较短,拐弯较少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性，许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里，对于穿墙或穿过夹道的地方，周围有危险源和经常有危险作业的地方，露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。在施工过程中，采取必要的安全措施，如佩戴防护用品、设置警示标志等，确保施工人员的安全和健康。江苏氩气特气管道安装服务商
排风系统和放空系统也是特气系统的重要组成部分。其排风系统也根据危险品性质分成普通排风系统（GEX）、酸性排风系统（SEX）、溶剂排风系统（VEX）、氨气排风系统（AEX）。普通排风系统采用镀锌铁皮风管，酸性排风一般采用玻璃钢风管，溶剂和氨气排风一般采用不锈钢风管。气柜的排风也是根据其性质接入上面不同的排风系统。气体的放空是指特气管道和气柜中的特气经氮气稀释后由放空管道排放到大气或排风系统中，有的剧毒性或高危害性的气体建议排放到尾气处理器中经处理后排放至相应的排风系统中。放空系统一般采用SUS304不锈钢管道，一直延伸到屋顶，高出屋面两米左右，并设防雨罩。浙江专业特气管道安装连接图当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。
管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查，并应符合下列规定：1 管道、管件、阀门应有单独的内包装，端口均应装有防尘帽；2 管道、管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽；3 管道外观检查应按全数的5%以上抽查，规格尺寸、壁厚，圆度、端面平整度等应符合产品的技术要求；4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5%以上，且不得少于1件，其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求；5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查，每批每种规格应随机抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查；6 管道内壁平均表面粗糙度Ra及较大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。
特气管道工程安装几个安全要点：1、管道安装时按不同的管径和要求设置管卡或吊架,要求位置准确，埋设平整,管卡与管道接触应紧密，但不得损伤管道表面涂层。2、管道支架制作安装采用机械切割，台钻钻孔，严禁气割。支吊架要满焊，安装采用预埋板或满足荷载要求的膨胀螺栓固定，确保牢固可靠。所有支吊架安装前必须做除锈、涂刷两遍防锈漆的防腐处理。3、管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，设计无要求时，按照规范要求设置；管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙：夏季施工预留：5-10mm；冬季施工预留：15-20mm。管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。选择特气管道工程安装公司的标准：施工技艺先进，验收严格按照规定标准。
对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。特气管道安装对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。江苏氩气特气管道安装服务商
当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm。江苏氩气特气管道安装服务商
随着我国经济的不断发展、科技不断自主进步，半导体等对特气有需求的行业领域也在不断扩大，特气管道在我们的日常生活中应用也越加的普遍起来。特气管道一般采用电解研磨方式加工的EP管，充氩气加热处理而成。现在市面上，特气管道供应商非常的多，但是，除了少部分像奥飞克、沃飞等提供交钥匙式的特气管道安装服务的公司，大多数的厂商只是提供产品，没有管道安装这一方面的服务。所以，为了让大家后期在购买特气管道产品之后能够自如的安装，避免安装过程中老是出错，下面小编会以半导体生产制程用电子特种气体供气系统为例子为大家具体的来介绍：江苏氩气特气管道安装服务商
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