[VIP第1年] 指数:3
近20年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。”每台(组)用氢设备的支管和氢气放空管上应设置阻火器。浙江气体管道设计解决方案
气体管道设计安全技术：1、气体管道设计的安全技术应符合下列规定：2、每台(组)用氢设备的支管和氢气放空管上应设置阻火器。3、各种气体管道应设置明显标志。4、使用氢气及可燃气体的实验室应设置报警装置。5、气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。对曰用气量不超过一瓶的气体，实验室内可放置一个该种气体的气瓶，但气瓶应有安全防护设施。6、氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。气体管道设计有很多方面，都有不同的要求，气体管道敷设，气体管道、阀门和附件，气体管道连接及安全问题都有要求。浙江特种气体管道设计方案对于特殊气体，如高纯气体，管道内部应保持高度清洁，防止污染。
对于低蒸汽压气体(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。
高纯/特种气体的概念，半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类：1.普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。气力输送设计的计算方法：1、确定各工作参数。气力输送的主要工作参数包括输送量、混合比(输送浓度)和气流速度等，这些参数的正确确定，对气力输送系统的选择和运行的经济性有很大的影响。2、确定各主要部件的型式和结构尺寸，如选用吸送式气力输送型式，则要注意吸嘴的选型，绘制出系统示意图。3、计算出系统各部分的压力损失及管道总压力损失。4、根据风网总风量和总压力损失选择合适的风机，并计算风机所需功率配用电机。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。
气体管道连接规范：1、气体管道的连接应采用焊接或法兰连接等形式。氢气管道不得用螺纹连接。高纯气体管道应采用承插焊接。2、气体管道与设备、阀门及其他附件的连接应采用法兰或螺纹连接。螺纹接头的丝扣填料应采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化铅、甘油调合填料。气体管道设计安全技术：1、气体管道设计的安全技术应符合下列规定：2、每台(组)用氢设备的支管和氢气放空管上应设置阻火器。3、各种气体管道应设置明显标志。4、使用氢气及可燃气体的实验室应设置报警装置。5、气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。对曰用气量不超过一瓶的气体，实验室内可放置一个该种气体的气瓶，但气瓶应有安全防护设施。6、氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。气体管道宜采用无缝钢管。浙江气体管道设计解决方案
对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。浙江气体管道设计解决方案
负压吸引系统技术要求，吸引系统负压在大气环境下不高于0.02MPa（150mmHg），不低于0.07MPa（525mmHg），并能在该范围内任意调节。医院各病区及各手术室应装有精度不低于1.5级的真空表。传染病房与一般病房若共用一套吸引系统时，则传染病房系统应设置真空罐及过滤器与之隔离。中心吸引站应有报警装置，当负压值高于0.019MPa（140mmHg）或低于0.073 MPa（550mmHg）时，在55db(A)噪音环境下，在1.5m范围内应听到声报警和看到红色的光报警。吸引系统排气口所排出的空气，每立方米细菌数目不得超过500个。中心吸引站室内噪音不超过80db(A)，室外不超过60 db(A)。吸引系统应有可靠的接地装置，接地电阻应小于10Ω。浙江气体管道设计解决方案
文章来源地址: http://jzjc.chanpin818.com/gdxt/qtgdxt/deta_20640583.html
免责声明： 本页面所展现的信息及其他相关推荐信息，均来源于其对应的用户，本网对此不承担任何保证责任。如涉及作品内容、 版权和其他问题，请及时与本网联系，我们将核实后进行删除，本网站对此声明具有最终解释权。
