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半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。焊工的焊缝是否符合质量要求，每个焊缝都必须仔细检查，并作好焊接作业者和焊接数量记录。浙江大口径特气管道安装公司
特气管道安装：（1）在管线两侧各设置1个及以上控制阀以控制气流方向，（一般采用球阀控制）。当管线较长时宜分段设阀以避免因阀门损坏造成停供事故的发生。（一般用球阀控制）。当管线较短且无分段时可在主管道端部设一个阀门以方便操作人员维修维护工作，（一般可采用蝶阀或闸阀等开关式阀门）。（2）对需要经常拆卸清洗的部件应在现场设置专门使用工具箱存放拆下的部件以备更换使用。（一般为专门使用工具车存放拆下的部件以备更换时使用。）同时需配备必要的防护用品以免发生意外事故伤害到工作人员及财产损失。（一般为专门使用工具车放置拆卸后的部件以备更换时使用。浙江大口径特气管道安装公司弯管时不可取开管道两端的封头，弯头成型后角度偏差不大于5°。
硅烷管道要求：1.硅烷特气管道安装一般好选择管道系统是316或316L无缝EP级不锈钢，其内、外表面极其光亮，且具有焊接结构，额定压力为较大运转压力的1.5倍，在三倍的正常传输压力到较大额定压力之间用氦检漏，理想的系统应该全部是焊接的。2.洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。3.硅烷特气管道系统上不允许使用衬垫阀。只能使用无衬垫膈膜阀或波纹管阀。在所有的配送系统上都应安装流量控制阀或流量开关，以便在流线型破裂的情况下切断气流。这个切断阀应该尽可能接近气源。4.在硅烷设施中，所有的气体管道、阀门和功能性组件都要贴上标签，说明它们的用途。管道上的标签应当说明气流方向和气体类型。
特气管道工程是一项危险系数比较高的工程，在选择施工公司和施工的过程中一定要注意安装标准规范操作。现在市面上的特气管道供应商非常的多，但是大多数的气体管道厂商只是提供产品，并不包括安装这一方面。大多数人是不知道正确安装的，下面就为大家具体的来介绍注意事项有哪些。1、 特气管道安装的时候，管子对口时应检查平直度，距离接口中心200mm处测量，当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm，当管子公称直径大于或等于100mm时，允许偏差为2mm，但全长允许偏差均为100mm。2、管道安装时按不同的管径和要求设置管卡或吊架,要求位置准确，埋设平整,管卡与管道接触应紧密，但不得损伤管道表面涂层。特气管道工程要选择一家经验丰富的供气气体系统公司。
大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH 4 、N 2 O、 2 、 C 2 F 6 、 NH 3 等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF 3 ）等、光纤（气体种类包括SiCl 4 ）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。管道在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。江苏专业特气管道安装工程
特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。浙江大口径特气管道安装公司
特气管道安装特点，它的特点主要体现在四个方面:安全、经济、纯度和人体工程学。安全:使用者可以通过配备的远程切断系统在紧急状况下切断气体供应。钢瓶储存区的合理布置可以保持可燃性容器和助燃性容器间的安全间距。经济性:使用者只需管理较少的钢瓶，支付较少的钢瓶租金，因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式较终会减少运输费用，减少退还给气体公司的空瓶中的余气量，以及良好的钢瓶管理。纯度:减压器面板可以保持气体的指定纯度，钢瓶更换频率的减少导致杂质进入系统的机率降低。浙江大口径特气管道安装公司
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