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这里主要介绍一下在进行特种气体管道安装时的行为要求标准。特种气体管道安装要求说明：1、不得强力对中管道，也不能使用加热管和加偏垫消除接口偏差，错位和不同心。2、连接法兰时，应保持法兰之间的平行度，不超过法兰外径的1.5％，且不超过2mm，法兰连接也应与管道同心，并应保证螺栓自由穿入。法兰连接应使用相同规格的螺栓，并且安装方向应相同。拧紧螺栓时，应对称且均匀地拧紧螺栓。在滑动法兰的内表面进行角焊时，避免飞溅和刮擦。在以下情况之一中，应在螺栓和螺母上涂上二硫化钼润滑脂，石墨油或石墨粉。特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。江苏专业特气管道安装解决方案
特气管道工程安装需要注意以下几点，首先一定要找专业的安装公司，公司必须是拥有建筑安全施工资质和气体管道施工资质的，比如沃飞科技，这就是一家资质非常齐全的公司，另外要找一个能提供系统帮助的公司，包括一定要有良好的售后服务，保证后期出现任何问题都有责任方。为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准。浙江实验室特气管道安装解决方案焊接管子对口必须为正方并紧密连接，在对口位置所允许的圆角和倒为壁厚的十分之一。
特种气体管道配管应符合下列规定：1 按照管道系统单线图，应将规定尺寸的管段及预制好的管道有序放在管架上，用专门使用夹具定位后进行预连接，并应通入适量的高纯氩气进行保护；2 支架宜采用碳钢喷塑、不锈钢、热镀锌C型钢或铝合金的槽式桥架组合；3 支架应采用机械切割，不得气割，切割后的端头应倒角并涂环氧漆后加盖塑料封头；4 当采用有盖槽式不锈钢桥架或铝制桥架时，应采用树脂薄板将桥架与钢制综合支架隔离；5 管外径小于或等于1/2“管道宜采用a型不锈钢管卡或镀镍电工管卡；大于或等于3/4”管道宜采用U型不锈钢管卡或带塑料管束的镀锌P型卡。
系统检测，特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样较大程度上提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪；颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米；而对要求更高的采用核凝结技术（CNC）它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。气体房和气柜还须有自动喷淋系统，但有的气体如三氟化氯,硅烷遇水反应，这时就还需要考虑采用二氧化碳灭火系统。特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机。
供气系统的选择：简单供气系统，简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。由于气体流量小，不经常使用，特种气体气源多采用普通钢瓶（<50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。管道支架制作安装采用机械切割，台钻钻孔，严禁气割。江苏消防特气管道安装精选厂家
管道焊接，自动焊接试样制作 根据焊接工艺评定和焊接工艺规程，严格焊接操作。江苏专业特气管道安装解决方案
辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为：特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。江苏专业特气管道安装解决方案
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