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近20年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。”实验室气体管道可靠性，管道连接应采用牢固的固定方式，避免因振动或使用不当导致的泄漏。浙江定制气体管道设计安装
日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次：1.超高纯气体，气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。2.高纯气体，气体中杂质总含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内。3.洁净气体，气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定，都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。浙江定制气体管道设计安装放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。
实验室气体采用集中供气方式，由实验室外专门使用供气区域用管路引进。除了洁净空气由空气压缩系统直接产生外，其余气体都是采用高压气瓶供气。每种气体都要有主供和备供气瓶，并安装自动切换面板进行供气控制，保证不间断供气。另外主要的控制阀门和减压阀门都应安装在实验室外。实验室气体由不锈钢管（BA级）路输送，一般1.5米内并必须有支架固定在墙面。在实验室内所有管路安装在天花板下方，沿墙进行明设。所有管路标明连接的气体。气体管路每隔1.5米的距离，都要有明确标示，同时指示气体的流向。
负压吸引系统：系统需设水分离器，地面必须有排水槽。油润滑滑片式真空泵：具有空气冷却、低噪音、震动少的优点。内部单向阀保护吸引系统不被污染，油雾分离器保护环境和减少油的损失。由于该设备是空气冷却，设备机房必须要有良好的透风。负压吸引系统附属设备：双重细菌过滤器：防止真空泵及真空罐被污染。不中断气流可替换过滤器：2个可交替使用的微粒过滤器。污物接收器：收集污染的及液体，保护真空系统正常运转，不中断气流可清理污染物。真空缓冲罐：防止真空泵频繁起动。高纯度气体由管道输送，能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、试验检测合格。
输送的起点和终点状况，输送的起点情况将决定气力输送的供料方式，起点处的物料可能有两种情况：一种是处于静止状况，如料斗、仓库或车船内的物料，另一种是处于运动状态，如由其他输送线或加工设备中卸出的物料。起点处于静态的物料必须依靠气流的作用力起动加速，而本来已具有一定运动速度的物料则可能减少起点压损和所需的功率。如果气力输送系统用来接运由其他输送机械或加工设备送来的物料，在设计时必须使气输送的输送量留有足够的安全系数，当前面设备的输送量发生波动而瞬时增大时不致于发生堵塞。如果前面的设备是间歇工作的，则要在气力输送系统的前部设置缓冲料斗。气力输送终点的状况关系到输送管道的布置，卸料点可能是一个，也可能有好几个，必须了解所有的位置。包括它的平面布置和高度位置。使用氢气及可燃气体的实验室应设置报警装置。江苏大楼气体管道设计解决方案
所有管道应清晰标识，包括气体名称、流向标记和安全警示。浙江定制气体管道设计安装
设计气体管道时还应该考虑管道的维护问题。管道的组成材料，使用过程中的维护和保养工作都需要特别注意。管道通常会受到腐蚀，生锈，老化或其他形式的损坏或磨损。及时对其进行维护和保养，可以使其有更长的使用寿命，并可以避免潜在的安全隐患。然后，若队列与实验室内环境相适应，可以有效的部署整个队列系统并能够简单且方便地进行操作，就可以实现上述设计要求，保持可靠性和高效性。总的来说，设计实验室气体管道时，一定要考虑到安全措施和维护措施以及管道承受的压力等问题。应该注意选材，选择专业这方面的设施厂家，制定合适的管道设计方案，与实验室的整体设计相互结合，才能确保实验室的气体安全的输送，更好地为实验工作提供保障。因此，我们应该更加重视实验室气体管道的设计，设计合适的管道，确保实验室内的气体能够顺利输送，从而为实验工作提供稳定的后勤保障。浙江定制气体管道设计安装
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