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排风系统和放空系统也是特气系统的重要组成部分。其排风系统也根据危险品性质分成普通排风系统（GEX）、酸性排风系统（SEX）、溶剂排风系统（VEX）、氨气排风系统（AEX）。普通排风系统采用镀锌铁皮风管，酸性排风一般采用玻璃钢风管，溶剂和氨气排风一般采用不锈钢风管。气柜的排风也是根据其性质接入上面不同的排风系统。气体的放空是指特气管道和气柜中的特气经氮气稀释后由放空管道排放到大气或排风系统中，有的剧毒性或高危害性的气体建议排放到尾气处理器中经处理后排放至相应的排风系统中。放空系统一般采用SUS304不锈钢管道，一直延伸到屋顶，高出屋面两米左右，并设防雨罩。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。上海消防特气管道安装市场价格
特气管道工程安装的注意事项：1、特气管道系统的所有管道的支吊架必须符合规范及设计要求，并按照标准图集中的要求制作与安装。如：① 管道支架或管卡应固定在楼板上或承重结构上；② 应按设计要求或国家标准图集中对管道固定支架的型式进行选择；③ 严禁将管道支、吊架直接焊接在钢结构承重梁上，必须根据承重梁的承重系数选择合适的支、吊架固定方案才能进行施工。2、特气管道安装时，在管子对口前应检查平直度，在距离接口中心200mm处测量，① 当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm；② 当管子公称直径大于或等于100mm时，允许偏差为2mm；但全长允许偏差均为100mm。浙江大楼特气管道安装解决方案选择特气管道工程安装公司的标准：秉承“安全至上”的观念。
特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。
特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点。分类，特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。常规供气系统，常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。
特气管道工程安装的注意事项：1、特气管道安装时，根据不同的管径和要求设置管卡或吊架，要求位置准确，埋设平整,管卡与管道接触应紧密，但不得损伤管道表面涂层。2、管道支架的制作安装要采用机械切割和台钻钻孔，严禁气割。3、所有支吊架安装前必须做除锈，做涂刷两遍防锈漆的防腐处理；支吊架要满焊，安装采用预埋板或满足荷载要求的膨胀螺栓固定，确保牢固可靠。4、特气管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，若设计无要求时，按照规范要求设置。7、管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙：夏季施工预留：5-10mm；冬季施工预留：15-20m。8、管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。焊接管子对口必须为正方并紧密连接，在对口位置所允许的圆角和倒为壁厚的十分之一。浙江大楼特气管道安装解决方案
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现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录，包括管工弯管的质量，尺寸是否准确，管道是否有划伤，弯头是不是压得太扁；拆除包装的管道，预制好的管道，管口是不是封好；（管道封口应套上管帽，再采用EP管完好的内包装袋割下15-20公分长套在管口折回后用洁净胶带缠好；如果没有管帽，则采用套一层内包装袋用胶带封好，然后外面再套一层，也用胶带封好。）焊工的焊缝是否符合质量要求，每个焊缝都必须仔细检查，并作好焊接作业者和焊接数量记录。上海消防特气管道安装市场价格
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