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特种气体管道安装：1 管外径大于1/2"的管道切割应采用不锈钢管洁净专门使用切割机，切割时不得使用润滑油：切口端面应垂直、无毛刺、不变形；满足不加丝自动轨道氩弧焊要求；不得使用手工锯、砂轮切割机切割；2管道切管作业时，应分别从两端管口将高纯氮气或氩气通入管内，并不得损伤管道外壁；3管口倒角作业时，不得损伤管道内壁，并不得采用什锦锉对管口进行倒角；4管道吹扫完毕，应使用不产尘的洁净布沾上异丙醇或无水乙醇将切割管口清洗干净，应迅速用洁净防尘帽或洁净胶带将管口封堵；5切割结束后，剩余管材应以洁净防尘帽封或洁净胶带堵后装入包装袋中；6管道预制焊接总长度不应超过12m，预制时应放置在专门使用支座上，支点数量不得少于4个；管道运输时每3m长度应设一个支点。特气管道安装对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。浙江化验室特气管道安装设计
半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。上海室内特气管道安装解决方案特气管道工程施工注意事项：注意特殊气体泄漏会引起中毒或爆裂的危险。
特种气体管道配管应符合下列规定：1 按照管道系统单线图，应将规定尺寸的管段及预制好的管道有序放在管架上，用专门使用夹具定位后进行预连接，并应通入适量的高纯氩气进行保护；2 支架宜采用碳钢喷塑、不锈钢、热镀锌C型钢或铝合金的槽式桥架组合；3 支架应采用机械切割，不得气割，切割后的端头应倒角并涂环氧漆后加盖塑料封头；4 当采用有盖槽式不锈钢桥架或铝制桥架时，应采用树脂薄板将桥架与钢制综合支架隔离；5 管外径小于或等于1/2“管道宜采用a型不锈钢管卡或镀镍电工管卡；大于或等于3/4”管道宜采用U型不锈钢管卡或带塑料管束的镀锌P型卡。
系统检测，特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样较大程度上提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪；颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米；而对要求更高的采用核凝结技术（CNC）它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。特气管道安装一般采用充氩气加热处理而成，EP管采用电解研磨方式加工而成。其内、外表面极其光亮。洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。特气管道工程施工注意事项：避免气体管道工程系统设计不到位。
特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点。分类，特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。常规供气系统，常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。管道切割时使用不锈钢专门使用切割器缓慢进行切割，操作时保持切面直度(90°±0.5)。浙江化验室特气管道安装设计
整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。浙江化验室特气管道安装设计
特气管道工程是一项危险系数比较高的工程，在选择施工公司和施工的过程中一定要注意安装标准规范操作。现在市面上的特气管道供应商非常的多，但是大多数的气体管道厂商只是提供产品，并不包括安装这一方面。大多数人是不知道正确安装的，下面就为大家具体的来介绍注意事项有哪些。1、 特气管道安装的时候，管子对口时应检查平直度，距离接口中心200mm处测量，当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm，当管子公称直径大于或等于100mm时，允许偏差为2mm，但全长允许偏差均为100mm。2、管道安装时按不同的管径和要求设置管卡或吊架,要求位置准确，埋设平整,管卡与管道接触应紧密，但不得损伤管道表面涂层。浙江化验室特气管道安装设计
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